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真空科學(xué)的應(yīng)用領(lǐng)域非常普遍，目前已經(jīng)滲透到電子、半導(dǎo)體、平板顯示、精密金屬及玻璃加工、印刷及包裝、煙草、木工家具、制瓶制罐、復(fù)合材料、陶瓷制磚、航空航天、高空模擬等工業(yè)部門和科學(xué)研究工作中。
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DB37/T 2435-2013 真空泵質(zhì)量評(píng)價(jià)技術(shù)規(guī)范
GB/T 13929-2010 水環(huán)真空泵和水環(huán)壓縮機(jī) 試驗(yàn)方法
GB/T 13930-2010 水環(huán)真空泵和水環(huán)壓縮機(jī) 氣量測(cè)定方法
GB/T 19955.1-2005 蒸汽流真空泵性能測(cè)量方法 第1部分：體積流率(抽速)的測(cè)量
GB/T 19955.2-2005 蒸汽流真空泵性能測(cè)量方法 第2部分：臨界前級(jí)壓力的測(cè)量
GB/T 19956.1-2005 容積真空泵性能測(cè)量方法 第1部分：體積流率(抽速)的測(cè)量
GB/T 19956.2-2005 容積真空泵性能測(cè)量方法 第2部分: 極限壓力的測(cè)量
GB/T 21271-2007 真空技術(shù) 真空泵噪聲測(cè)量
GB/T 21272-2007 蒸汽流真空泵性能測(cè)量方法 泵液返流率和加熱時(shí)間的測(cè)量
GB 22360-2008 真空泵 安全要求
GB/T 25753.1-2010 真空技術(shù) 羅茨真空泵性能測(cè)量方法 第1部分：最大允許壓差的測(cè)量
GB/T 25753.2-2010 真空技術(shù) 羅茨真空泵性能測(cè)量方法 第2部分：零流量壓縮比的測(cè)量
GB/T 25753.3-2011 真空技術(shù) 羅茨真空泵性能測(cè)量方法 第3部分:溢流閥壓差的測(cè)量
JB/T 10134-1999 帶真空泵交流發(fā)電機(jī)
JB/T 10462-2004 水噴射真空泵國(guó)家發(fā)展和改革委員會(huì)
JB/T 10552-2006 真空技術(shù) 爪型干式真空泵
JB/T 10770-2007 真空技術(shù) 液環(huán)真空泵驗(yàn)收規(guī)范
JB/T 11080-2011 真空技術(shù) 渦旋干式真空泵
JB/T 11237-2011 真空技術(shù) 多級(jí)羅茨干式真空泵
JB/T 11238-2011 真空技術(shù) 液環(huán)真空泵效率
JB/T 11716-2013 真空技術(shù) 螺桿型干式真空泵
JB/T 1246-2007 真空技術(shù) 滑閥真空泵
JB/T 6533-2005 旋片真空泵
JB/T 6921-2004 羅茨真空泵機(jī)組
JB/T 7255-2007 水環(huán)真空泵和水環(huán)壓縮機(jī)
JB/T 7265-2004 蒸汽流真空泵
JB/T 7673-2011 真空技術(shù) 真空設(shè)備型號(hào)編制方法
JB/T 7674-2005 羅茨真空泵
JB/T 7675-2005 往復(fù)真空泵
JB/T 8107-2011 容積真空泵 振動(dòng)測(cè)量方法
JB/T 8540-2013 水蒸氣噴射真空泵
JB/T 8944-2010 單級(jí)旋片真空泵
JB/T 9808-2013 擠奶用真空泵
QB/T 1444-1992 ZBK型輕式專用兩葉羅茨真空泵
QB/T 1445-1992 濕式羅茨真空泵性能測(cè)試方法
QC/T 958-2013 汽車真空泵性能要求及臺(tái)架試驗(yàn)方法
SH/T 0528-1992 礦物油型真空泵油
SH/T 3162-2011 石油化工液環(huán)真空泵和壓縮機(jī)工程技術(shù)規(guī)范
SJ/T 11085-1996 立式渦輪分子泵通用技術(shù)條件
SJ/T 31157-1994 FLB型復(fù)合真空泵完好要求和檢查評(píng)定方法
SJ/T 31412-1994 W型真空泵完好要求和檢查評(píng)定方法
按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體傳輸泵和氣體捕集泵。
按其性能特點(diǎn)及用途分類可以分為：低真空泵、中真空泵、高真空泵、超高真空泵。
1.低真空泵： 極限壓力高于102Pa的真空泵屬于低真空泵。常見(jiàn)的有往復(fù)式真空泵、旋轉(zhuǎn)式真空泵、液環(huán)式真空泵、噴射式真空泵以及吸附式真空泵。
2.中真空泵： 極限壓力在102~10-1Pa的真空泵屬于中真空泵。常見(jiàn)的有羅茨真空泵、多級(jí)噴射式真空泵、多級(jí)旋轉(zhuǎn)機(jī)械真空泵以及高速旋轉(zhuǎn)式機(jī)械真空泵等。
3.高真空泵： 極限壓力在10-1~10-5Pa的真空泵屬于高真空泵。常見(jiàn)的有各種擴(kuò)散泵及分子泵等。
4.超高真空泵：極限壓力低于10-5Pa的真空泵屬于超高真空泵。主要用各種離子泵、低溫泵等。
隨著真空應(yīng)用技術(shù)在生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域中對(duì)其應(yīng)用壓強(qiáng)范圍的要求越來(lái)越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產(chǎn)和科學(xué)研究過(guò)程的要求，因此選用不同類型真空泵組成的真空抽氣機(jī)組進(jìn)行抽氣的情況較多。
真空泵的極限壓強(qiáng)-泵的極限壓強(qiáng)單位是Pa，是指泵在入口處裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩并按規(guī)定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩(wěn)定的最低壓強(qiáng)。
真空泵的抽氣速率-泵的抽氣速率單位是m3/s或l/s，是指泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩，并按規(guī)定條件工作時(shí)，從試驗(yàn)罩流過(guò)的氣體流量與在試驗(yàn)罩指定位置測(cè)得的平衡壓強(qiáng)之比。簡(jiǎn)稱泵的抽速。
真空泵的抽氣量-單位是Pam3/s或Pal/s。是指泵入口的氣體流量。
真空泵的起動(dòng)壓強(qiáng)-單位為Pa，它是指泵無(wú)損壞起動(dòng)并有抽氣作用時(shí)的壓強(qiáng)。
真空泵的前級(jí)壓強(qiáng)-單位是Pa，它是指排氣壓強(qiáng)低于一個(gè)大氣壓的真空泵的出口壓強(qiáng)。
真空泵的最大前級(jí)壓強(qiáng)-單位是Pa，它是指超過(guò)了能使泵損壞的前級(jí)壓強(qiáng)。
真空泵的最大工作壓強(qiáng)-單位是Pa，它是指對(duì)應(yīng)最大抽氣量的入口壓強(qiáng)。在此壓強(qiáng)下，泵能連續(xù)工作而不惡化或損壞。
真空泵的壓縮比-是指泵對(duì)給定氣體的出口壓強(qiáng)與入口壓強(qiáng)之比。
真空泵的何氏系數(shù)-泵抽氣通道面積上的實(shí)際抽速與該處按分子瀉流計(jì)算的理論抽速 之比。
真空泵的抽速系數(shù)-泵的實(shí)際抽速與泵入口處按分子瀉流計(jì)算的理論抽速之比。
真空泵的返流率-泵的返流率 單位是g/cm2·s。它是指泵按規(guī)定條件工作時(shí)，通過(guò)泵入口單位面積的泵流質(zhì)量流率。
水蒸氣允許量-單位是kg/h，它是指泵在正常環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作時(shí)能抽除的水蒸氣質(zhì)量流量。
最大允許水蒸氣入口壓強(qiáng)-單位是Pa。它是指在正常環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作時(shí)所能抽除的水蒸氣的最高入口壓強(qiáng)。
真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來(lái)講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。隨著真空應(yīng)用的發(fā)展，真空泵的種類已發(fā)展了很多種，其抽速?gòu)拿棵肓泓c(diǎn)幾升到每秒幾十萬(wàn)、數(shù)百萬(wàn)升。隨著真空技術(shù)在生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域中對(duì)其應(yīng)用壓強(qiáng)范圍的要求越來(lái)越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產(chǎn)和科學(xué)研究過(guò)程的要求，由于真空應(yīng)用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍，只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過(guò)程的需要，有時(shí)將各種真空泵按其性能要求組合起來(lái)，以機(jī)組型式應(yīng)用。
常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環(huán)泵、往復(fù)泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴(kuò)散泵等，這些泵是我國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)各行業(yè)應(yīng)用真空工藝過(guò)程中必不可少的主力泵種。近年來(lái)，伴隨著我國(guó)經(jīng)濟(jì)持續(xù)高速發(fā)展，真空泵相關(guān)下游應(yīng)用行業(yè)保持快速增長(zhǎng)勢(shì)頭，同時(shí)在真空泵應(yīng)用領(lǐng)域不斷拓展等因素的共同拉動(dòng)下，我國(guó)真空泵行業(yè)實(shí)現(xiàn)了持續(xù)穩(wěn)定地快速的發(fā)展。
人們?cè)诨仡櫿婵湛茖W(xué)發(fā)展史時(shí)，或許是受翻譯國(guó)外書(shū)刊的影響，常常誤認(rèn)為1643年的托里拆利的壓力試驗(yàn)和1650年葛利克發(fā)明抽氣機(jī)是，對(duì)真空這一現(xiàn)象的最早發(fā)現(xiàn)，實(shí)則不然。
其實(shí)，早在公元前六世紀(jì)，我國(guó)就將“風(fēng)箱鼓風(fēng)法”運(yùn)用到冶金技術(shù)中，那時(shí)的風(fēng)箱被稱為“鞲鞴（bèi bèi）”。戰(zhàn)國(guó)時(shí)期的“老子道德經(jīng)”一書(shū)記載道，“鞲鞴”是“虜而不屈、動(dòng)而愈出”，這是最早利用真空吸氣原理的有記載的描述。而歐洲到十六世紀(jì)才發(fā)明類似的設(shè)備。
中國(guó)晉朝煉丹家和醫(yī)藥學(xué)家葛洪（公元218~316年）在“肘后備急方”中所介紹的利用氣體的熱脹冷縮創(chuàng)造的“拔火罐”醫(yī)療法，也正是真空技術(shù)在醫(yī)學(xué)上應(yīng)用的具體例證，因?yàn)榘l(fā)生在火罐里的現(xiàn)象正是一個(gè)獲得真空和應(yīng)用真空的完好過(guò)程。這種獲得真空的方法比托里拆利利用水銀趕走玻璃管中的大氣而獲得真空的方法還要高明。因?yàn)樵诠迌?nèi)燃紙加熱大氣時(shí)，不但能趕走罐內(nèi)的部分大氣，而且還可以把罐中的氧氣燒掉，這至少可以使罐中產(chǎn)生五分之四個(gè)大氣壓力的真空，即相當(dāng)于在罐中獲得6×104Pa的低壓。
至于葛利克的抽氣機(jī)與我國(guó)古代所采用的風(fēng)箱抽氣比較，在抽氣原理上是相同的。不過(guò)在我國(guó)“天工開(kāi)物”一書(shū)中記載的利用“風(fēng)箱鼓風(fēng)煉鐵”，要比葛利克抽出他的“金屬半球”中的氣體，在時(shí)間上至少早幾百年。
因此，我們?cè)诨仡櫿婵湛茖W(xué)發(fā)展歷程時(shí)，不應(yīng)忘記我們的祖先對(duì)人類在早期發(fā)展真空技術(shù)所作出的貢獻(xiàn)。
