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在半導(dǎo)體行業(yè)中應(yīng)用真空泵時，有哪些安全問題不能忽略？

昊青氣體裝備技術(shù)（江蘇）有限公司 2020-12-03

昊青氣體裝備出品的EVS系列永磁變頻螺桿真空泵，環(huán)境友好度高，并且擁有較寬抽速范圍和優(yōu)異的節(jié)能性、穩(wěn)定性和易維護等優(yōu)點，在半導(dǎo)體行業(yè)得到了普遍的應(yīng)用。在這里，昊青氣體裝備跟大家一起探討下在半導(dǎo)體行業(yè)中使用真空泵一些不容忽視的安全問題。

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真空泵在半導(dǎo)體行業(yè)中，主要用于在蒸發(fā)、濺射、PECVD、真空干法蝕刻、真空吸附、真空清潔、測試設(shè)備和其他粘合工藝。在半導(dǎo)體制造過程中，極其容易產(chǎn)生易燃、易爆和有毒的氣體，它將直接威脅到生產(chǎn)和人員安全。因此，半導(dǎo)體行業(yè)的廣大客戶在應(yīng)用真空泵時，需要注意以下一些安全事項：

1、保持真空泵和其他附件、過濾器和管道的清潔，以避免超壓
真空泵應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè)中，氣體介質(zhì)被抽取時會通過反應(yīng)室和真空泵，其組成可能非常復(fù)雜，例如SiH4和O2會在泵口發(fā)生化學(xué)反應(yīng)形成SiO2，而TiCl4則會水解形成HCl。如果是油封機械泵，這些氣體物質(zhì)也可能與潤滑油混合發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。假設(shè)這些變化形成了顆粒、可凝物或腐蝕性介質(zhì)，就可能會阻塞真空泵或管道系統(tǒng)，直接影響真空泵的性能，導(dǎo)致壓力升高或超壓。因此，真空泵需要及時得到清洗，必要時還應(yīng)安裝過濾設(shè)備。



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2、切實有效的降低有害氣體的濃度
如上文所言，半導(dǎo)體行業(yè)易產(chǎn)生易燃、易爆和有毒有害的氣體，因此在半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用真空泵抽取這些氣體時，必須防止其在真空泵中或在排放過程中發(fā)生不可控制的反應(yīng)。例如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質(zhì)與空氣或氧氣接觸時，會引起燃燒甚至爆炸；當(dāng)氫氣在空氣中的混合比達到一定濃度和溫度時，也會燃燒，這些都取決于物質(zhì)的量以及與環(huán)境的壓力和溫度。因此，半導(dǎo)體行業(yè)在應(yīng)用真空泵提取這些介質(zhì)時需要使用氮氣等惰性氣體，在壓縮之前就將這些氣體稀釋到安全范圍。

3、密切注意氧氣的濃度
如果空氣中的氧氣濃度過高，則有燃燒和爆炸的危險，因此在某些情況下必須密切注意氧氣的濃度，使用惰性氣體稀釋以防止氧氣濃度過高。如果是油封機械泵則可能需要使用一些惰性且與氧氣相容性好的真空泵油，并且應(yīng)及時更換真空泵油及其油濾。


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4、防止溫度過高
這一點就比較容易理解了。真空泵在半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用時，有害氣體會比較多，泵腔中的溫度都比較高，而在高溫下易燃、易爆和有毒氣體很容易發(fā)生危險。  


以上就是半導(dǎo)體行業(yè)在應(yīng)用真空泵時最重要的幾個安全問題，我們切不能忽略它們。


昊青氣體裝備作為一家專業(yè)研發(fā)和制造永磁變頻螺桿真空泵和鼓風(fēng)機的生產(chǎn)廠家，旗下產(chǎn)品效率更高且穩(wěn)定節(jié)能，享有完備的售后保障服務(wù)。如果您想更多地了解昊青永磁變頻螺桿真空泵和鼓風(fēng)機，歡迎留言咨詢或撥打昊青氣體裝備全國24小時免費客服熱線：400-068-5898。

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