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半導(dǎo)體行業(yè)真空泵市場的空間預(yù)測和特點(diǎn)分析

昊青氣體裝備技術(shù)(江蘇)有限公司 2020-09-29

真空泵是指采用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)方法從被抽容器進(jìn)行抽氣,從而獲得真空的設(shè)備或器件。 一般而言,真空泵是使用各種方法來改善、產(chǎn)生和維持某一個封閉空間中的真空環(huán)境的裝置。在鋰電池、光伏、半導(dǎo)體面板等對真空要求苛刻的領(lǐng)域中,生產(chǎn)商通常需要極其清潔的環(huán)境,以確保產(chǎn)品在生產(chǎn)過程中不受空氣污染或干擾的影響。例如,在生產(chǎn)半導(dǎo)體器件的過程中,每個半導(dǎo)體器件包含了多層材料,如果氣體分子混合在這些不同的材料層之間,將會造成器件的電學(xué)或光學(xué)特性的破壞;或者在加工半導(dǎo)體器件的過程期間,需要用諸如電子束、離子束和分子束之類的粒子照射和轟擊材料,在大氣中,氣體分子將與這些粒子碰撞,從而大大縮短其行進(jìn)路程,從而導(dǎo)致絕大多數(shù)粒子無法到達(dá)材料表面。因此,真空泵是鋰電池、光伏、半導(dǎo)體面板等領(lǐng)域中必不可少的通用設(shè)備,而這些領(lǐng)域?qū)φ婵諚l件的高標(biāo)準(zhǔn),也對真空設(shè)備提出了更高的技術(shù)要求。

半導(dǎo)體,真空泵

真空泵的發(fā)展愈來愈受到應(yīng)用應(yīng)用領(lǐng)域的影響,而一般的真空系統(tǒng)無法滿足應(yīng)用領(lǐng)域?qū)Νh(huán)境清潔無油的耐腐蝕的要求。螺桿真空泵是20世紀(jì)90年代初期出現(xiàn)的一種理想的泵種,它以結(jié)構(gòu)簡單緊湊、抽氣腔組件無摩擦、抽速范圍寬、壽命長、能耗低等優(yōu)點(diǎn)逐漸占領(lǐng)市場。正是由于其優(yōu)越的性能,在歐美日等國別,螺桿真空泵已經(jīng)成為半導(dǎo)體、微電子、精密加工、制藥等行業(yè)優(yōu)先選擇的真空獲取設(shè)備。

真空泵是半導(dǎo)體各工藝制程環(huán)節(jié)中不可或缺的通用設(shè)備。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈主要分為IC設(shè)計、晶圓制造和芯片封測三大環(huán)節(jié)。一般來說晶圓制造可以細(xì)分為前道和后道兩個工藝步驟,前道工藝是將硅材料加工制造成晶圓片,通過光刻機(jī)曝光等多道工序?qū)C設(shè)計圖案加載到晶圓上,制成集成電路;后道工藝是將載有集成電路的晶圓分割成基本單元,再通過封裝、測試后制成最終的集成電路產(chǎn)品。半導(dǎo)體真空泵可普遍應(yīng)用于晶圓制造過程中的單晶拉晶、LL、Etching、CVD、ALD、封裝、測試等清潔或嚴(yán)苛制程。

一、半導(dǎo)體行業(yè)真空泵市場空間預(yù)測


我們回顧2019年全球半導(dǎo)體投資逐步放緩,預(yù)計2020年回暖。2019年全球半導(dǎo)體市場規(guī)模4110億美金,同比下降12.36%,在全球經(jīng)濟(jì)大環(huán)境下行的背景下,受中國大陸智能手機(jī)銷量等因素的影響,2019年的全球半導(dǎo)體行業(yè)市場出現(xiàn)萎縮。半導(dǎo)體投資與行業(yè)市場規(guī)模高度同步,對照全球半導(dǎo)體行業(yè)投資規(guī)模,2018/2019年投資規(guī)模774.44/718.15億美元,同比下降比例達(dá)0.45%/7.27%,連續(xù)兩年下滑。而受益于技術(shù)革新需要以及5G網(wǎng)絡(luò)更新設(shè)備的需求,預(yù)計2020年全球半導(dǎo)體行業(yè)資本支出將回暖至732.40億美金,同比增長1.98%。


2019年,半導(dǎo)體市場,真空泵
  

2020年,半導(dǎo)體市場,真空泵


數(shù)據(jù)顯示:預(yù)計2019-2021年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場銷售規(guī)??蛇_(dá)依576/608/668億美元,每年增長6%-10%。中國半導(dǎo)體設(shè)備銷售市場受益5G推動創(chuàng)歷史新高,預(yù)計2020~2021增速可達(dá)10%-16%,快于全球平均增速,預(yù)計2020年中國半導(dǎo)體設(shè)備銷售市場規(guī)模約160億美元。按照真空設(shè)備約占整個FAB廠半導(dǎo)體投資的3%-4%測算,2020年全球半導(dǎo)體真空設(shè)備市場規(guī)模將達(dá)128-170億元,中國半導(dǎo)體真空設(shè)備市場規(guī)模約34-45億元??紤]到新一代3dNAND/EUV光刻技術(shù)對真空環(huán)境提出了更高要求,對真空設(shè)備需求更大,半導(dǎo)體真空設(shè)備在整個FAB廠的投資占比也有望進(jìn)一步提升。

從晶圓廠產(chǎn)能測算,全球/中國大陸/中國臺灣真空泵20年市場規(guī)模超150/60/30億元。以12寸晶圓生產(chǎn)線為例,每3.5萬片產(chǎn)能需要約2000臺真空泵。


中國大陸真空泵市場規(guī)模2019-21年達(dá)36/65/80億元;2018年中國大陸/中國臺灣晶圓在運(yùn)產(chǎn)能折合8寸約236.1/412.6萬片/月(折合12寸約104.9/183.4萬片/月),2019年新增產(chǎn)能折合8寸約39.09萬片/月(折合12寸約17.4萬片/月),據(jù)統(tǒng)計當(dāng)前在建FAB廠產(chǎn)能合計折合12寸約92.6萬片/月,按20/21年分別投產(chǎn)42.6/50萬片/月測算,中國大陸真空泵市場規(guī)模2019-21年分別為36/65/80億元,年均增速近50%。

二、半導(dǎo)體真空泵行業(yè)特點(diǎn)

半導(dǎo)體用真空泵對產(chǎn)品可靠性、定制化、能源效率要求較高。


1.可靠性:半導(dǎo)體用真空泵由于直接關(guān)系到芯片的性能、良率,對產(chǎn)品可靠性有較高要求,工作過程需要不斷保養(yǎng),而可靠性高的產(chǎn)品能減少維修次數(shù),明顯降低客戶的使用成本。


2.定制化:在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,由于每條生產(chǎn)線工況都不盡相同,客戶對解決方案和產(chǎn)品的需求更加定制化,“萬金油”式的真空泵產(chǎn)品的市場競爭力將會逐漸減弱。


3.能源效率:在Fab能源消耗中,真空產(chǎn)品的能耗占整個能源消耗的20%,提高能源效率能夠明顯減少客戶的能源消耗。


昊青氣體裝備作為一家專業(yè)研發(fā)和制造永磁變頻螺桿真空泵和鼓風(fēng)機(jī)的生產(chǎn)廠家,旗下產(chǎn)品效率高且穩(wěn)定節(jié)能,享有完備的售后保障服務(wù)。如果您想更多地了解昊青永磁變頻螺桿真空泵和鼓風(fēng)機(jī),歡迎留言咨詢或撥打昊青氣體裝備全國24小時免費(fèi)客服熱線:400-068-5898。

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